扫描式电子显微镜

发布时间:2017年08月19日 点击次数:0 文章来源:中科易尚 [打 印] [关 闭]

扫描电镜的原理是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息,通过对这些信息的接收、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌;扫描电镜在尖端自然科学领域应用范围极广。

电子束光刻技术与扫描电镜技术设计重叠达15%,但前者是后者技术要求的20倍; NBL公司目前的电子束光刻技术覆盖了80%的扫描式电子显微镜(扫描电镜)技术,配套相关资源后利用电子束光刻技术可以在12个月内生产出世界领先的扫描电镜。

项目计划总投资1亿元,用于高层次人才引进,研发、生产设备购置,研发、生产用房定制化装修等。

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