微距量测扫描式电子显微镜(CD-SEM)

发布时间:2017年07月24日 点击次数:12 文章来源:中科易尚 [打 印] [关 闭]

CD-SEM是一种测量用的精密仪器,用于测量半导体芯片制作中光刻显影后光刻胶的线宽以及观察图形,是集成电路制作必备的设备。国内目前无法生产,使用的均是进口的二手设备。NBL公司技术储备充足,在现有产品基础上,在人力充足情况下,一年内就可将产品推向市场,性能媲美世界最先进设备。

项目计划总投资3,000万元,用于高层次人才引进,研发、生产设备购置,研发、生产用房定制化装修等。

Powered by AKCMS