电子束光刻机

发布时间:2017年07月24日 点击次数:77 文章来源:中科易尚 [打 印] [关 闭]

电子束光刻机目前主要应用于集成电路微纳器件的加工,用于航天、卫星、军工等特种芯片和半导体掩膜的制作以及微电子领域的基础研究,是微电子研究的必配设备。

NBL电子束光刻机具有体积小、产品价格低、性能稳定、抗振能力强、电磁影响小、持续工作能力强、维修成本相对低的优点,能够完全替代JEOL和Vistec同类产品,被称为电子束光刻机的第一品牌,产品已销往中、英、美、德、法、瑞典和韩国等国家。

项目计划总投资1亿元,在科技园内设立全球售后技术服务中心,用于产品、检测设备的购置、售后技术人才团队的建设、补充流动资金、在全球重点区域设立分支营销、售后服务中心等。

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